Етан с висока чистота

Етанът с висока чистота е станал незаменим при производството на полупроводници, където дори примесите на части с милиард могат да нарушат процесите на производство. Дефиниран като етан с чистота, по -голяма или равна на 99,995%, етанът с висока чистота претърпява обширна обработка, включително криогенна дестилация и пречистване на статия за отстраняване на кислород, влага и по -тежки въглеводороди. Глобалният пазар на етан с висока чистота расте с 9% годишно, обусловен от търсенето на напреднали чипове и дисплеи.

В производството на полупроводници етанът с висока чистота обслужва множество критични функции:

Плазмено офорт на силициеви нитридни слоеве

Химическо отлагане на пари от въглеродни филми

Процеси на почистване на камера в литографските системи EUV

Съвременните техники за пречистване за етан с висока чистота сега постигат забележителни нива на замърсяване:

<0.1 ppm total hydrocarbons

<0.5 ppm moisture

<0.01 ppb metallic impurities

Съхранението и обработката на етан с висока чистота изискват специализирани цилиндри с вътрешни повърхностни обработки, за да се предотврати адсорбцията на замърсителите. Системите за разпределение на газ използват електрополирани тръби от неръждаема стомана с ултра-високи вакуумни фитинги, за да поддържат чистота от източник до инструмент. Фотоволтаичната индустрия е приела етан с висока чистота за отлагане на анти-отразяващи покрития върху слънчеви клетки, където примесите могат да намалят ефективността на конверсия с до 2%.

Последните иновации включват мониторинг на мас-спектрометрията в реално време на потоци с висока чистота, което позволява незабавно откриване на екскурзии за чистота. Тъй като геометриите на чипа се свиват под 2 nm възли, спецификациите за етан с висока чистота стават още по -строги, движейки непрекъснато подобряване на технологиите за производство и анализ.

Популярни тагове: Етан с висока чистота, производители на етан с висока чистота, доставчици, фабрика, Етан за електронен клас 99 999, Етан C2H6, Етан CAS 74 84 0, Етан R170, Етан с висока чистота, Етан от хладилен агент