CF4 газ

Tetrafluoromethane, известен още като Carbon tetrafluoride или R -14, е най -простият перфлуорокарбон (CF4). Както показва името му на IUPAC, тетрафлуорометанът е перфлуорираният колега на метана на въглеводороди. Той може да бъде класифициран и като халоалкан или халометан. Tetrafluoromethane е полезен хладилен агент, но и мощен парников газ. Той има много висока якост на връзката поради естеството на въглерод -флуориновата връзка.

Въглероден тетрафлуорид

CAS: 75-73-0

ОБСЕ: 1982

Einecs: 200-896-5

Молекулна формула: CF4

CF4 gas dominates silicon and silicon nitride etching in chip manufacturing, accounting for 45% of all fluorocarbon gases used in fabs. When ionized in plasma, CF4 gas generates reactive fluorine species that etch at rates up to 1 μm/min with excellent anisotropy. Gas mixtures with oxygen or hydrogen allow precise control of selectivity and sidewall profiles. Environmental abatement systems for CF4 gas achieve >98% ефективност на унищожаване с помощта на горене при 1100 градуса, последвано от почистване. Преходът към изключителна ултравиолетова (EUV) литография увеличи консумацията на газ CF4 с 20% за приложения за почистване на фотомаски.

Tetrafluoromethane понякога се използва като хладилен агент с ниска температура (R -14). Използва се само при микрофабрикация на електроника или в комбинация с кислород като плазмен ескант за силиций, силициев диоксид и силициев нитрид. Той също има приложения в неутронните детектори

• Винаги използвайте в съответствие с информационния лист за безопасност (SDS).
• Цилиндърът трябва да се съхранява и използва в изправено, защитено положение в добре проветриво или наблюдавана зона.
• Винаги следвайте местните изисквания за пожар, когато съхранявате газови цилиндри.
• Основни опасности: пожар, задушаване.

Jiangsu MR Chemical Co., Ltd, stands at the forefront of innovation in the realm of gaseous productions, specializing in the full spectrum of standard gases, special gases, high-purity gases, and electronic gases, we mainly serves semiconductor, led, optical fiber, solar energy, petrochemical, biomedicine, University, scientific research, electric power, electronics, shipping, coal Мина, автомобилна, медицинска, противопожарна защита, аерокосмическа, храна, строителство, топене, фина химическа, преработка и производствена промишленост.

Популярни тагове: CF4 Gas, China CF4 Производители на газ, доставчици, фабрика, 99 999 5N Carbon Tetrafluoride CF4Въглероден тетрафлуорид R14чист хелийВъглероден тетрафлуорид с висока чистота